-
-
-
- HOME
- 연구동향
- MERRIC인
- 메릭웨비나
- 공학DB
- 문헌정보
- 기계로봇소식
- MERRIC은?
- 회원가입
- 로그인
메릭 웨비나
- 웨비나 신청하기
- 웨비나 동영상
- 웨비나 이용안내
원자층 어닐링을 이용한 높은 결정성의 Rutile-TiO2 형성으로 Ru/TiO2-ZrO2-TiO2/Ru 금속-절연체-금속 캐패시터의 높은 성능 개선
이승현, 안지환, 고도현, 김근회(나노종합기술원) | 2021-11-25
418
1
418
1
- 원자층 어닐링
- Rutile-TiO2 형성
- Ru/TiO2-ZrO2-TiO2/Ru
- 금속-절연체-금속 캐패시터
모바일