부산대학교 MEMS 연구실(Micro Eletro Mechanical Systems LAB.)
등록일
2008-09-24 오전 10:25:30
2004년 3월에 결성되어, 마이크로/나노 가공기술 전반에 관하여 연구를 수행하고 있습니다. 주 연구분야로는 Bio-mimetic, X-ray image sensor, Ultrasonic fabrication, Micro sensor & actuator, Protein chip, DNA chip 입니다.
생체모방공학(Biomimetics)
생체모방공학(Biomimetics)은 살아 있는 생물의 특징적인 행동이나 구조, 그들이 만들어 내는 물질 등을 모방함으로써 새로운 기술을 만드는 학문
표면개질(Surface modification)
- 연잎의 표면은 낮은 표면자유에너지로 인하여 물방울이 젖지않고, 잘 구르는 성질을 가짐. - 표면의 이물질 제거 쉬움. 이러한 특성을 살려 인위적으로 제작하여 산업에 적용.
연잎을 확대한 사진
자가세정
인위적으로 제작된 초소수성 마이크로/나노 구조물
인위적으로 제작된 초소수성 기판의 초고속 카메라 영상
소금쟁이(Water-strider)
표면자유에너지와 물에서의 항력과의 관계에 관한 연구와 표면장력에 의해 물위를 걸어 다니는 소금쟁이의 특성을 연구하고, 인위적으로 제작
소금쟁이와 다리 확대 사진
출처 : X. Gao, L. Jiang, “Water-repellent legs of water striders,” NATURE, 2004, vol. 432, p. 36
소금쟁이 prototype
Polymer 마이크로 돌기 형상
X-ray 영상 센서(X-ray image sensor)
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디지털 기술의 발전과 함께 의료분야에서도 PACS(Picture Archiving and Communication Systems)와 같은 X선, CT, MRI, PET등에 의해 촬영된 모든 방사선 검사를 디지털 이미지로 변환하고 전문의가 모니터를 통해 판독하는 시스템이 도입되고 있다.
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이러한 X-ray영상을 더욱 선명하게 얻기 위한 연구와 유연한 X-ray 영상 센서를 제작하기 위한 연구가 진행 중에 있다.
격자구조의 섬광체 제작
섬광체 패널
섬광체 발광
유연한 섬광체 패널
전자기력 구동체(Electromagnetic actuator)
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LaDEM(Laterally Driven Electro Magnetic, 고종수)개념을 중심으로 하여 전자기력을 이용한 평면구동형 마이크로 구동체 이다.
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이로렌츠 힘에 의해 움직이며, leaf spring은 snap through가 가능하게끔 디자인 되었다.
구동원리
응용 예
응용 예
구동 주파수 10Hz
구동 주파수 30kHz
Snap-through
전기적인 switching 측정
전류에 따른 leaf spring변위 측정
소자 구동 측정
초음파를 이용한 성형 (Ultrasonic Imprint)
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초음파를 이용하여 몰드와 모재에 국부적인 마찰열로 인한 성형.
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빠른 시간내에 폴리머 성형이 가능하며, 대량생산에 적합한 성형 기술.
성형결과
학력 및 주요양력
한국과학기술원(KAIST), 기계공학과, Ph. D., 2000 Researcher, Microelectronics Center, Singapore, 1998. 11. 2 ~ 2000. 2. 29 선임연구원, ETRI, 2000. 9. 21 ~ 2003. 2. 5 교수, 부산대학교 기계공학과, 2003. 3. 1 ~ 대한기계학회 마이크로 나노 공학 부문 이사