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    동영상 게시판 내용

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    제목 Robust Optimization for MEMS
    발표자 한정삼 박사
    세션 D020100
    발표일 2003-09-29
    관련논문링크 바로가기
    요약 본 세미나에서는 여러가지 MEMS 소자에 최적설계를 적용한 사례 위주로
    MEMS에서의 최적설계의 필요성과 그 적용방법을 소개하고자 하고자 합니
    다. 특히, MEMS 제작오차로 인하여 야기되는 성능저하와 수율 문제를 해결
    하기 위해, 설계단계에서 반드시 고려되어야 하는 MEMS 강건성과 관련된
    MEMS의 강건최적설계 방법론과 마이크로 자이로스코프, 마이크로 탐침,
    그리고 미소 광스위치에 적용한 결과를 설명할 것입니다. MEMS 설계 및 제작이나 최적설계에 관심있는 분들에게 유익한 시간이 될 것으로 생각됩니다.

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