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  • NDSL학술지

    NDSL학술지 제목 게시판 내용
    제목 회절광학소자 제작을 위한 레이저 직접 노광기의 공정실험
    저자 김영광
    이혁교
    김영식
    이윤우
    초록 A direct laser lithography system is widely used to fabricate various types of DOEs (Diffractive Optical Elements) including lenses made as CGH (Computer Generated Hologram). However, a parametric study that uniformly and precisely fabricates the diffractive patterns on a large area (up to $200mm{ times}200mm$ ) has not yet been reported. In this paper, four parameters (Focal Position Error, Intensity Variation of the Lithographic Beam, Patterning Speed, and Etching Time) were considered for stabilization of the direct laser lithography system, and the experimental results were presented.
    저널명 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering
    VOL 33
    PAGE pp.845-850
    발표년도 2016
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