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  • 국내학술대회

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    국내학술대회 제목 게시판 내용
    제목(국문) 열기포에 의한 마이크로 빔의 변형 실험
    제목(영문) Analysis of Micro Cantilever Deflection by Thermal Bubbles
    저자 이헌주 (Heon J. Lee ,KIST ) ▷공저자네트워크등록하기
    장영수 (Young-Soo Chang ,KIST ) ▷공저자네트워크등록하기
    김호영 (Ho-Young Kim ,서울대 ) ▷공저자네트워크등록하기
    안종섭 (Jong-Seob Ahn ,KIST ) ▷공저자네트워크등록하기
    이윤표 (Yoon-Pyo Lee ,KIST ) ▷공저자네트워크등록하기
    초록 Micro cantilevers are significant structure in MEMS devices. the beam deflection and its characteristics have been studied for various purposes. In this study, expending bubble from thermal surface can exert force to micro cantilever beam and make deflection. Cantilevers were fabricated with n-type silicon wafer and its thickness varies from 10 micro to 30 micron with different geometries (length, width, and tip shape). We observed beam deflections with various bubble generations and simple analysis of bubble-beam interaction were performed. Modeling shows good match with experimental data in both macro and micro cases
    keyword Micro-Beam(마이크로 빔), Thermal Bubble(열기포) and Cantilever Fabrication(빔가공)
    저널명 대한기계학회 춘계학술대회 ▷관련저널보기
    VOL 5
    PAGE 2631-2636
    발표년도 2005
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