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    국내학술대회 제목 게시판 내용
    제목(국문) RF MEMS switch 설계를 위한 AI-3%Ti 박막의 기계적 물성 측정
    제목(영문) Measurement of Mechanical Properties of AI-3%Ti thin Film for Design of RF MEMS Switch
    저자 박준협 (Jun-Hyub Park ,동명정보대 ) ▷공저자네트워크등록하기
    명만식 (Man Sik Myung ,고려대학교 ) ▷공저자 네트워크 보기
    김윤재 (Yun-Jae Kim ,고려대학교 ) ▷공저자네트워크등록하기
    이창승 (Chang Seung Lee ,삼성종기원 ) ▷공저자네트워크등록하기
    좌성훈 (Sung-Hoon Choa ,삼성종기원 ) ▷공저자네트워크등록하기
    초록 This paper presents a novel experimental method to investigate the strength of material, AI-3%Ti, which is commonly used in RF(radio frequency) microelectromechanical systems(MEMS) switch. The experimental method involves the development of a new tensile loading system. A non-contact position measuring system based on the principle of capacitance micrometry with 0.1nm resolution for displacement measurement. And new specimen was designed and fabricated to easily manipulate, align and grip a thin-film for a tensile test. The material used in this study was AI-3%Ti thin film, which was used in RF switch. The thickness of the thin film are 1.1㎛ and 3 kinds of width were tested to get mechanical properties.
    keyword Thin Film(박막), Mechanical Property(기계적 물성), RF MEMS Switch(알에프스위치)
    저널명 대한기계학회 춘계학술대회 ▷관련저널보기
    VOL 5
    PAGE 28-33
    발표년도 2005
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